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直流偏压电源

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名称

型号

主要技术参数

主要用途

直流偏压电源

 

1、电源输入 ~220V±10V,50Hz。

2、电源输出  —0~2000V,0~2A(直流)。根据用户需求进行设计。

3、环境温度0~500C,相对湿度≤80%。

4、输出电压/电流/功率自动控制。由于采用了闭环控制,因而,不论负载情况如何(非过流前提下),输出电压/电流/功率都可以根据设定值实时调节,从而达到理想的精度。

5、过流控制保护。负载电流过大时,单片机会有过流保护提示,并且关闭数字可控硅调压模块,停止输出,防止变压器过热损坏,以及其他元器件的烧毁。

6、大功率长时间工作,主变压器温度超过700C时会蜂鸣报警,液晶文字提示过热保护,并停止功率输出。

 

本机广泛地应用于科研、半导体工艺、真空镀膜、工业材料加工设备(如:磁控溅射设备、等离子清洗、等离子溅射刻蚀、沉积、活性离子刻蚀等,设备的能源)。


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